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PECVD =Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积，其它的有HWCVD，LPCVD，MOCVD等。 PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉 积出所期望的薄膜。 PECVD 常见故障 射频电源 特气柜 特气柜 安全事项 使用和维护本设备时必须严格遵守操作规程和安全规则，因为： 本设备的工艺气体为SiH4和NH3，二者均有毒，且SiH4易燃易爆。 本设备运行时会产生微波辐射，每次维护后和停机一段时间再开机前都要检测微波是否泄漏。 岛津特气柜里的流量计、气动阀及手动阀 RothRau PECVD特气柜里的特气单向阀 以上 谢谢！ PECVD培训资料 顾孝明 一：我们公司现有PECVD两种机型 岛津PECVD RothRau PECVD 漏气真空问题 磁控管微波电源问题 加热板加热管问题 控制电路问题 安全事项 漏气真空问题 岛津PECVD 岛津工