《精细玻璃ITO镀膜工艺的研究与应用》-毕业论文（设计）.docVIP

下载本文档

60
0
约1.24万字
约 20页
2018-12-03 发布于广西
举报
版权申诉

《精细玻璃ITO镀膜工艺的研究与应用》-毕业论文（设计）.doc

1、本文档共20页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

PAGE PAGE 精品精品学年论文题目精细玻璃ITO镀膜工艺的研究与应用学生学号 0842020203 专业 08材料物理班级 02 指导教师完成时间 2011 年 11 月___27 日成绩精品精品目录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc311110989 摘要 PAGEREF _Toc311110989 \h I HYPERLINK \l _Toc311110990 引言： PAGEREF _Toc311110990 \h 1 HYPERLINK \l _Toc311110991 一、磁控溅射法制备ITO薄膜 PAGEREF _Toc311110991 \h 2 HYPERLINK \l _Toc311110992 1、实验 PAGEREF _Toc311110992 \h 2 HYPERLINK \l _Toc311110993 1.1 样品的制备 PAGEREF _Toc311110993 \h 2 HYPERLINK \l _Toc311110994 1.2 性能的表征 PAGEREF _Toc311110994 \h 2 HYPERLINK \l _Toc311110995 1.3 ITO薄膜的制备 PAGEREF _Toc311110995 \h 3 HYPERLINK \l _Toc311110996 2、结果与讨论 PAGEREF _Toc311110996 \h 4 HYPERLINK \l _Toc311110997 2.1 靶材角度对ITO薄膜的光电-性能的影响 PAGEREF _Toc311110997 \h 4 HYPERLINK \l _Toc311110998 2.2 氧流量对ITO薄膜的光电性能的影响 PAGEREF _Toc311110998 \h 5 HYPERLINK \l _Toc311110999 2.3溅射时间对ITO薄膜的光电性能的影响 PAGEREF _Toc311110999 \h 6 HYPERLINK \l _Toc311111000 2.4 溅射功率对ITO薄膜的光电性能的影响 PAGEREF _Toc311111000 \h 7 HYPERLINK \l _Toc311111001 3、结论 PAGEREF _Toc311111001 \h 8 HYPERLINK \l _Toc311111002 二、溶胶-凝胶法制备 PAGEREF _Toc311111002 \h 8 HYPERLINK \l _Toc311111003 1、Sol—Gel法制备ITO薄膜的工艺过程 PAGEREF _Toc311111003 \h 8 HYPERLINK \l _Toc311111004 1.1 前驱液的制备 PAGEREF _Toc311111004 \h 9 HYPERLINK \l _Toc311111005 1.2 薄膜的制备 PAGEREF _Toc311111005 \h 9 HYPERLINK \l _Toc311111006 2、结果与讨论 PAGEREF _Toc311111006 \h 9 HYPERLINK \l _Toc311111007 2.1 掺Sn量对薄膜光电性能的影响 PAGEREF _Toc311111007 \h 9 HYPERLINK \l _Toc311111008 2.2 热处理温度对薄膜光电性能的影响 PAGEREF _Toc311111008 \h 11 HYPERLINK \l _Toc311111009 2.3 镀膜层数对薄膜光电性能的影响 PAGEREF _Toc311111009 \h 12 HYPERLINK \l _Toc311111010 3、结论 PAGEREF _Toc311111010 \h 13 HYPERLINK \l _Toc311111011 三、ITO薄膜的应用 PAGEREF _Toc311111011 \h 13 HYPERLINK \l _Toc311111012 3