洁净室介绍培训.ppt

半导体工厂洁净室示意图 在太平洋中游弋的一条鲣鱼 在某一次研讨会上，讲师说到净化厂房的净化度时，举了 “在太平洋中游弋的一条鱼”的例子来比喻“浮游在空气中的灰尘”，其寓意是要让大家亲身感觉到半导体洁净室方面的那种极其洁净的程度。那么，不妨以ISO 1级的洁净度为例来计算一下就知道了。 洁净度1级的上限是1m3空气中0.1μm粒子＜10个，即浮游粒子在空气中的体积比为5.24×1/1021。根据世界地理知识，可查到太平洋的面积为16500万km2、平均深度为4282m、体积为70700万km3。 因此，如果用与ISO 1级洁净度相同的粒子比例进行换算，70700万km3的5.24×10-21仅3.7? , 3.7?也就大约相当于一条鲣鱼的体积。 如果，我们把自己置身于微米世界之中，我想大家就不难亲身感受到在世界第一大洋——“太平洋中游弋的一条鲣鱼”是一种什么样的感觉了吧。 HEPA Filter高效过滤器—— High Efficiency Particulate Air Filter 洁净室的压差就是使洁净室与周围的空间必须维持一定的静压差，洁净度不同的洁净室之间，或洁净室与一般房间之间保持适当的压差值，其目的是为了保证在洁净度等级低的区域其洁净度遭受破坏时，洁净度等级高的区域可以免受邻室的污染。 自动洗手装置 型号：Trane 数量： ？台：？冷量 参数： 出水温度： ？℃ 回水温度：？℃ * 什么是洁净室？ 洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。 ——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》 由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。 背景 5 . 2 m 5 . 2 m 4 . 8 m 5 . 5 m 1 . 3 10 m (33 ft) 10 m (33 ft) 72 m (236,2 ft) 0.0m 22 m (74 ft) 楼梯间 回风 Cl. 100 turbulent 回风区 工艺真空管路 补充气体 工艺原料供应主管路 洗涤塔 排风扇 工艺原料主供应系统 Level 1 Lower Subfab Level 2 Level 3 0.6 m 排风扇 钢结构 微环境 （Class 1,SMIF 静压箱 水泥覆盖 防水保温 镀锌浪板 独立过滤风扇 天花吊顶系统 高架地板 架子格 钢结构 特殊气体气柜 无尘电梯 人员操作区 （Class 100) 洁净室的空调系统及其气流组织形式 Cleanroom洁净室 利用风管上送侧排 为非单向流洁净室 易控制大范围的空气流动 利用风管和地板上送下回 为混合流洁净室 适合有较高洁净度和 较大热负荷要求的洁净室 但必须确保架空地板高度 Cleanroom洁净室 Cleanroom洁净室 利用FFU和地板上送下回 易形成垂直单向流 适合有较高洁净度要求的洁净室 但必须确保架空地板高度 直接利用空调箱侧送侧回 不能形成同一方向气流，是乱流 适合洁净度要求不高的洁净室 洁净室的构造是怎样的？ 低 中 高 设备费用 循环风量较少 运行成本最低 对生产设备的发热、排热进行分别处理，可以降低运行成本 生产设备的发热即为空调的热负荷，运行成本最高 运行成本 20－50次/h 通道内200－400次/h， 下降风速0.25-0.45m /s； 其它区域100－200次/h 400－500次/h、 下降风速0.45m/s 换气次数 10,000～100,000级 室内洁净度不高 易受作业人员的活动而导致洁净度下降 1～10,000级 洁净通道内为高洁净度区域 可以减少作业人员对洁净度的影响 1～1000级 室内全部为高洁净度区域 易受作业人员的活动而导致洁净度下降 洁净度 洁净室 气流方式流程图 乱流方式 部分层流方式 全面垂直层流方式 比较项目 洁净室的洁净度是如何确定的？ 1000000 0 0 0 1 10 100 1000 10000 100000 0.01 0.1 1 10 颗粒直径（μm） 颗粒数量（个） Class1 Class10 Class100 Class1000 Class10000 0.5 1立方英尺为单位空间 直径0.5微米的尘埃粒子为比较标准 Class 1：大于0.5微米的粒子少于1个 Class 10：大于0.5微米的粒子少于10个 Class 100：大于0.5微米的粒子