半导体器件工艺课程教学大纲.PDFVIP

大连海事大学 “半导体器件工艺”课程教学大纲 课程编号 1713000900 学时/学分 32/2.0 开课单位 理学院 考核方式 考察 适用专业 应用物理学专业 执 笔 者 付姚 编写日期 2017 年9 月 一、课程说明 半导体器件工艺课程属于应用物理学本科专业限选课。主要目的在于让学生认识半导体集成电 路的基本结构和特性，理解物理原理；认识半导体集成电路的主要制备工艺技术，理解各种工艺技 术对器件性能的影响；了解现代半导体集成电路的发展过程和发展趋势；培养学生利用科学的思维 方法分析工业生产过程中的物理问题，学习使用批判的思维方式。为后续课程和从事与本专业有关 的工程技术等工作打下一定的基础。 先修课程：固体物理、半导体物理 二、课程目标 知识目标 课程目标1：了解半导体集成电路的发展历史，学习集成电路相关基础知识和基本