石英陶瓷在精密平台中的应用.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 ! ! ! 5267! 827! ! ! !!!!!!!! ()*+,-./01*)+)2-3- )-110)- !!!!!!!! 年 月 ! ’ 4 4 #$$% # 91:7#$$% ! ! ! ! 文章编号 ! !$$;@#A #$$%$!;$$?;$= ! 石英陶瓷在精密平台中的应用 ! ! # 林 彬 !张晓峰 !张国亮 ! 天津大学 先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室!天津 # !7 $$$?# 天津泰基精密陶瓷有限公司!天津 $ #7 $$! 摘要!分析研究了分别采用钢#铝#氧化铝陶瓷#石英陶瓷四种材料的精密直线电机驱动平台的温升#热 变形#变形受室温变化的影响#到达热平衡时间等情况$结果表明%有较小导热系数的石英使得热量不 易传递温升明显减小’由于较小的热膨胀系数使得平台热变形较小同时石英由热膨胀引起的内应力 及受室温变化引起的变形变化远小于铝#钢与氧化铝’导热系数小的石英热量传递速度慢到达热平衡 的时间长$精密直线电机驱动平台中运动平台受直线电机初级部件发热影响最大所以精密平台应选 择导热系数#热膨胀系数小#对温度变化不敏感的材料石英是此类平台比较理想的陶瓷材料$ 关 键 词!精密工作台!直线电机!石英陶瓷!热分析!有限元分析 ! ! 中图分类号! 文献标识码! JG!% K !! 7 5$/.0$’’(#$5$/./,.C$/$ ,/$#$’#0. 33 3 % ! ! # ^_8 W)- NGK8M A),2;Z1- NO,- MT2;6),- 4 4 4 ! !9) :2;*-2*- * D,52$0),C)-2’0%2$,+208’$’$ 7)08$*=* 6 6 ! @ @6