《TS207预防崩边措施可行性报告》-公开·课件设计.pptVIP

1 保密 业务单元:硅片三车间 报告工位:TS207内圆截断 工艺：戴佳 TS207预防崩边可行性报告 目录 2 内圆崩边现状 内圆崩边改进方案 改进方案可行性分析 结论 Confidential 自三硅片内圆截断(TS207)设备使用以来,晶棒崩边很严重(单面2-3mm),每天的崩边率都在1%以上,持续不下,在现有产品满负荷生产的情况下,严重影响着三硅片的产能及产品质量. 为了进一步提高硅片车间的出片率,以及今后东区硅片一投产就有较高的出片率,所以有必要针对TS-207内圆截断崩边情况进行统计与分析,提出可行的改善方案,最终达到降低截断崩边率的目的. 背景: 目的: 内圆崩边改善背景与目的 内圆崩边现状 4 从上面数据可以看出,截断岗位每天晶棒的损失长度很大,严重影响三车间多晶合格率及出片率,因此为了提升合格率,必须尽快解决内圆岗位崩边情况. 内圆崩边改进方案 5 崩边产生原因分析: 内圆崩边一般是在出刀的时候, 尾部的晶棒点在截断快结束的时候,刀片对其产生了切割力(切割作用力),由于出刀口位于导轨中间,尾部的晶棒点失去支撑力,从而产生的崩边. 工件导轨 崩边 产生 位置 示意 图 晶棒 内圆刀片 崩边 刀片 下降 切割 内圆崩边改进方案 6 崩边预防改进方案: 防止位于导轨中间晶棒尾部点切割时失去支撑力,解决内圆出刀后崩边,我主要从以下两方面进行改进: 1.粘接导向条 2.切割刀口处V型平台 7 内圆崩边改进方案---粘接导向条 一、改进方案之---粘接导向条 粘接导向条前后方案对比 之前试验后抛弃的方案 改进型方案 粘方棒的AB胶水 101胶水 导向条 导向条 8 内圆崩边改进方案---粘接导向条 1.2之前试验后抛弃的方案 优点: 1.在晶棒失去支撑点的地方粘接上导向条起支撑作用,防止刀片的切割作 用力把晶棒造成崩边. 缺点: 1.粘方棒用的AB胶水需要调胶价格比较昂贵,且固化时间需要一小时.批量做 时极大影响产能.(员工可操作性比较差、费时、费钱) 2.胶水在晶棒表面形成的胶层大致在0.5mm左右,刀片在切割时产生的热效应 胶水包裹在刀片上,减弱了刀片切削能力.实验期间2#、3#截断机共损失6张刀片 (炸裂) 3.粘接的导向条长度太短,支撑力太小,晶棒的出刀口处产生隐裂. 4.截断后导向条留在晶棒上,进入下道工序加工,可能会导致断线影响切片工 序断线率 9 1.3使用改进后的方案(样本量为一个锭) 优点: 1.使用101胶水粘接,胶水比较便宜（8角一支,可使用一个锭），整个凝固时间在3~5秒，批量生产时不影响产能。（可操作性强、省钱、省时） 2.胶水在晶棒表面形成的胶层大致在0.1mm,胶层在切割时产生的热效应胶水包裹在刀片上,对刀片切削能力的影响可以忽略. 3.粘接的导向条长度长,分解刀片带来的切割作用力,不易产生隐裂. 4.截断结束后留在晶棒表面的导向条可以用酒精去除.对切片工序不会造成任何断线影响. 缺点: 1.由于胶水直接粘接晶棒表面,对粘接的晶棒必须是磨面倒角.表面未经过磨面的较粗糙,粘接后难以去下导向条. 2.截断结束后留在晶棒表面的导向条,去除时员工需要小心,因为刀片刮时会对截断后的棱边产生崩边. 内圆崩边改进方案---粘接导向条 10 内圆崩边改进方案---粘接导向条 1.4第二种防崩边缺点优化方案 针对表面粗糙(包括2车间线开方不需磨面的棒),截断后去导向条相对困难的,和防止去胶时的失误带来崩边的有两种解决方案: 1.使用丙酮去除(网上查资料丙酮可以去除101、502胶水凝固后的胶渍) 2.用热水浸泡3分钟左右就可以去除. 1.5方案评估: 1.丙酮为化学品,对存放和使用都有一定的要求,因此使用时需要注意.(要增加使用工序) 2.使用热水浸泡,方便简单,粘方棒岗位超声波清洗机可以加热,只要在粘方棒之前加热去除即可.(无需增加工序,操作简单,流转方便) 11 内圆崩边改进方案---V型平台工装 说明: V型平台工装只需要放在内圆刀片两边工作台导轨的中间,在切割时也起支撑作用. 导轨中间 12 备注: 如后期使用V型平台工装,材质则选用树脂或者尼龙材料,防止使用其他材质较硬的工装应