离子注入结合离子交换技术制备KTiOPO4光波导特性研究3.PDF

第 39 卷第 4 期 光 　子 　学 　报 Vol . 39 No . 4 20 10 年 4 月 　　　　　　　　　　　　 Ap ril 20 10 A C TA P HO TON ICA SIN ICA 文章编号 :100442 13 (20 10) 0406535 离子注入结合离子交换技术制备 KTiO PO4 光波导特性研究 王晓梅 ,卢霏 , 明宪兵 ( 山东大学 信息科学与工程学院 ,济南 250 100) 摘 　要 :用离子注入结合离子交换技术形成了 KTiO PO 平面光波导 ,研究了离子注入对离子交换 4 波导结构的影响. 使用棱镜耦合法测量了波导特性 ,结果显示形成了表面折射率升高的多模波导 , 通过背散射技术研究了离子交换后的 Rb 离子分布. 实验表明 ,注入离子导致样品晶格损伤 ,在 μ 2 . 8 m处对离子交换形成了阻挡层 ,阻止了交换向 KTP 晶体的更深处进行. 关键词 :光波导 ;离子注入 ;离子交换 ; KTiO PO4 晶体 中图分类号 : TN 252 　　　　文献标识码 :A 　　　　 doi :10 . 3788/ gzxb20 103904 . 0653 入到 KTP 晶体中 ,然后进行 RbK 离子交换形成 0 　引言 了 KTP 平面光波导 ,研究了离子注入对离子交换 磷酸钛氧钾 ( KTiO PO4 ; KTP) 是一种优 良的 KTP 波导结构的影响及光波导的各项性质. 非线性光学材料 ,具有较高的非线性光学系数 、较大 [ 12 ] 1 　实验 的抗光损伤阈值 、良好的热稳定性等优点 , 因而 , KTP 晶体被广泛应用于许多领域 , 如二次谐波产 实验采用的 z 切 KTP 晶体是由山东大学化学 生 、光学参量震荡等非线性光学方面的应用[34 ] . 目 与化工学院生长的. 晶体大小为 5 ×7 ×1. 5 ( x × 前 ,人们正探索利用各种非线性材料制备准相位匹 y ×z) mm3 ,样品表面经过光学抛光并且在注入前 配波导器件 ,用以实现基于激光倍频的短波光源 ,而 进行了清洗. 室温下 ,利用 4 MeV 的 O + 离子注入 在周期性极化畴反转的 KTP 晶体中实现高转化效 样品的抛光面 ,注入的剂量为 1 ×1 0 15 ion s/ cm2 . 率的二次谐波产生和短波光源一直是研究的热点之 在注入过程中 ,样品表面的法线方向与入射离子束 一[ 5 ] . 科学家研究了很多方法实现晶体周期性畴反 方向成 7°角 , 以避免沟道效应. 注入的束流限制在 转 ,如电场极化是 目前采用的最普遍的方法 ,此外利 一定范围内以防止注入过程引起的热效应. 样品的 用化 学 方 法 也 可 以实 现 晶体 的极 性 翻 转 , 如 注入是在北京大学重离子物理实验室的 1. 7 MV 串 Bierlein 等人第一次报道了用离子交换的方法可以 列式加速器上完成的. 注入后的样品在空气中进行 实现 KTP 晶体的周期性畴反转波导[ 68 ] . 这种方法 200 ℃,30 min 退火 , 以消