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3._基于MEMS技术的光互联网器件
第三章 基于MEMS技术的光网络器件;第三章 基于MEMS技术的光网络器件;MEMS技术的典型应用-开关;MEMS技术的典型应用-DLP;MEMS器件的驱动机制;静电和电磁驱动原理;典型的MEMS结构;MEMS技术的关键工艺;Ion-Beam工艺;键合工艺;第三章 基于MEMS技术的光网络器件;MEMS VOA的结构;MEMS VOA的工作原理;MEMS VOA的封装形式;MEMS VOA的波长相关性;第三章 基于MEMS技术的光网络器件;二维MEMS光开关;三维MEMS光开关;MEMS光开关阵列中的准直器匹配问题;基于PLC+MEMS技术的光开关;
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