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Application TEM 样品前处理设备——亲水化处理仪（辉光放电 仪）原理及应用 辉光放电一般是指低气压放电现象,工作压力一般都低于 10 mbar,其基本构造是在 封闭的容器内放置两个平行的电极板,利用产生的电子将中性原子或分子激发,而被激发 的粒子由激发态降回基态时会以光的形式释放出能量。在激发状态下构成分子的原子 获得足够大的的动能，开始彼此分离，原子的外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电 子，失去电子的原子变成正离子。这一过程叫电离 ，形成的等离子体是一种电离气体， 是离子、电子和高能原子等的集合体;正离子和电子总是成对的出现，总数大致相等， 整体呈准电中性，它是一种由带电粒子组成的电离状态，称为物质的第四态-等离子态。 等离子表面处理是一种新的技术，可以实现很多功能，例如超洁净清洗、表面能 改善、表面活化、刻蚀、涂覆等。TEM 样品前处理设备亲水化处理仪或者称为辉光放 电仪就是利用这一技术实现对 TEM 碳膜进行表面改性，以获取更佳的制样效果。但是 不同厂家不同机型可实现的模式和功能并不完全一致，但总的来说有如下几类： 1、表面超洁净清洁