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Ch.5 化学气相沉积本章主要;化学气相沉积——基本原理★ ;化学气相沉积——基本原理 CV;化学气相沉积——基本原理 ;化学气相沉积——基本原理 CV;化学气相沉积——基本原理 ;化学气相沉积——基本原理反应方;化学气相沉积——基本原理 ;化学气相沉积——基本原理 CV;化学气相沉积——基本原理 ;化学气相沉积——基本原理 CV;化学气相沉积——基本原理 ;化学气相沉积——基本原理（2）;化学气相沉积——基本原理（4）;化学气相沉积——基本原理 化学;化学气相沉积——基本原理;化学气相沉积——基本原理 化学;化学气相沉积——基本原理化学输;化学气相沉积——基本原理;化学气相沉积——特点★ 化学;化学气相沉积——特点 缺点 参;化学气相沉积——特点 CVD的;化学气相沉积——CVD方法简介;化学气相沉积——CVD方法简介;化学气相沉积——CVD方法简介;化学气相沉积——CVD方法简介;化???气相沉积——CVD方法简介;化学气相沉积——CVD方法简介;化学气相沉积——CVD方法简介;化学气相沉积——CVD方法简介;化学气相沉积——CVD方法简介;化学气相沉积——LPCVD★ ;化学气相沉积——LPCVD;化学气相沉积——LPCVD L;化学气相沉积——LPCVD L;化学气相沉积——等离子化学气相;化学气相沉积——等离子化学气相;化学气相沉积——等离子化学气相;化学气相沉积——等离子化学气相;化学气相沉积——等离子化学气相;化学气相沉积——等离子化学气相;化学气相沉积——等离子化学气相;化学气相沉积——等离子化学气相;化学气相沉积——其它CVD方法;MOCVD法的特点：优点： （;化学气相沉积——习题和思考题C