用于ICF驱动器的分频光栅两种工艺误差分析Ξ-强激光与粒子束.PDFVIP

　第 15 卷 　第 5 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 15 ,No. 5 　 　2003 年 5 月 HIGH POWER LASER AND PARTICL E BEAMS May ,2003 　 文章编号 : (2003) 用于 ICF 驱动器的分频光栅两种工艺误差分析 陈德伟, 　李永平 ( 中国科学技术大学 物理系, 安徽 合肥 230026) 　　摘 　要 : 　对用于 ICF 驱动器分频光栅的刻槽深度进行了优化 ,使其具有更优的分频效果。在此基础上 , 对制作工艺带来的占空比误差和塌边结构进行了分析 ,给出了分频光栅具有良好分频效果时工艺上所能允许 的误差范围。