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半导体激光器的设计和工艺 黄永箴 中国科学院半导体所，光电子研发中心 集成光电子国家重点实验室 1 一. 半导体激光器的基本结构 • 1.半导体双异质结构 • 2.Fabry-Perot谐振腔(纵模) • 3. 侧模控制(基侧模) • 4.横模控制 • 5. 动态单模半导体激光器 • 6. 波长可调谐半导体激光器 • 7.长波长VCSEL 的进展 • 8.微腔激光器和光子晶体 • 9.半导体激光器材料的选择 2 二.半导体光波导 • 1. 平板波导的模式，TE和TM模 • 2. 光限制因子和模式增益 • 3. 一维多层波导结构(VCSEL)光场分布 • 4. 半导体激光器镜面反射系数 • 5. DFB激光器的藕合模理论 • 6. DFB半导体激光器的一维模拟 • 7. 等效折射率近似 • 8. 数值模拟 3 三.半导体中的光跃迁和增益 • 1. 费米分布函数及跃迁速率 • 2. 电子波函数及跃迁矩阵元 • 3.简约态密度及增益谱 • 4.模式的自发辐射速率 • 5.应变量子阱的能带和增益谱数值结果 • 6.能带，跃迁矩阵元和增益谱数值结果 • 7.增益谱峰值的近似表达式 4 四. 速率方程和动态效应 • 1．单模速率方程及基本物理量 • 2．稳态输出 • 3. 共振频率和3dB带宽 • 4. 载流子输运效应对带宽影响 • 5. 开启延迟时间 • 6. 线宽增宽因子和动态频率啁啾 • 7. 自发辐射引起的噪声 • 8. 相对强度噪声 • 9. 模式线宽 • 10. 多模速率方程 5 五.半导体激光器的基本工艺和特性 1.半导体激光器的工艺过程 2.激光器微分特性 3.激光器寿命 4.激光器阈值电流的温度特性 6 一. 半导体激光器的基本结构 • 1.半导体双异质结构 双异质结构实现： 1. 载流子的超级注入 2. 光场限制 3. 载流子限制 (a) 单面注入和超级注入 (b) 电场下电子的漂移 (c) 电子和光限制 (d)隧穿 7 第一个室温连续的电注