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HYPERLINK /thread-104739-1-1.html RENA清洗设备中文版说明书 仅操作部分6、操作6.1 开机6.1.1 步骤1：开机前准备? ???第一步：打开药液供给侧的手动阀? ???第二步：关闭所有后侧门? ???第三步：关闭所有服务和维修窗口的盖板? ???第四步：解锁所有急停按钮6.1.2步骤2：给机器上电? ???第一步：将机器的主开关打到ON的状态? ?? ?? ?? ? 此时机器有电? ???第二步：移走UPS电源的盖板? ???第三步：将UPS的主开关打到ON的状态? ???第四步：将主机的主开关打到ON的状态? ?? ?? ?? ? 此时操作系统启动6.1.3步骤3：给CHILLER上电? ???第一步：将CHILLER的主开关打到ON的状态? ?? ?? ?? ? 此时CHILLER启动6.1.4步骤4：登录Windows? ???第一步：选择Operator用户? ?? ?第二步：输入Operator密码，点击确定6.1.5步骤5：启动应用软件????启动SPS软件? ???第一步：双击WINLC RTX? ?? ?? ?? ???SPS软件启动? ?? ?? ?? ? SPS软件开始自动运行，直到ON和RUN显示为绿色? ???第二步：将WINLC RTX最小化? ? 启动Server? ? 第一步：双击Server? ? 第二步：点击Open Project? ? 第三步：选择Project Path? ? 第四步：点击[+]? ? 第五步：点击[Configuration]? ? 第六步：点击OK? ?第七步：点击RUN? ?第八步：点击Start Tag Provider? ? 第九步：最小化服务器程序? ? 启动用户界面? ? 第一步：双击[Client]6.1.6步骤6：用户登入? ???第一步：登入Process6.1.7步骤7：控制系统上电? ???第一步：按动ON按钮6.2 工艺初始化准备? ?? ?第一步：登入Service? ???第二步：了解所有报警信息? ???第三步：将机器打到Manual状态? ???第四步：对所有的功能单元下载Recipe? ???第五步：冷却系统补液? ???第六步：清洗槽补液? ???第七步：所有dosage tanks补液? ?? ?第八步：所有Pump tanks补液? ?? ?? ?? ? 此时机器用于工艺已准备好6.3 自动生产? ???第一步：登入Operator用户? ?? ?第二步：确认所有的功能单元都处在Ready状态? ???第三步：点击Start production6.3.3 停止自动生产??停止预定的自动生产? ???第一步：点击Scheduled stop? ?? ?? ?弹出一个窗口? ?? ?第二步：点击YES? ?? ???仍在机器内的硅片跑出后停止??停止未预定的自动生产? ???第一步：点击Unscheduled stop? ?? ?? ?弹出一个窗口? ?? ?第二步：点击YES? ?? ???仍在机器内的硅片将过刻??停止自动生产—关闭? ?? ? 步骤1：停止预定的自动生产? ?? ?第一步：点击Scheduled stop? ?? ?第二步：点击YES? ?? ???仍在机器内的硅片跑出后停止? ?? ???步骤2：点击Unscheduled time6.3.4 手动补液 工艺槽补液? ?? ?第一步：点击Process bath? ?? ?第二步：点击欲加液的dosage tank.? ?? ?第三步：点击dosage? ???第四步：输入欲加液的体积? ???第五步：点击Start manual dosage? ?? ?? ?? ?? ? 补液开始? ?? ? 停止补液? ?? ?第一步：点击Stop manual dosage? ?? ?? ?? ?? ? 补液停止 碱槽补液? ?? ? 与以上相似 酸槽补液? ?? ? 与以上相似6.3.5 滚轮操作 停止滚轮? ?? ?第一步：点击Drives break? ?? ?? ?? ?? ? 滚轮停止转动 启动滚轮? ?? ?第一步：点击Drives continue? ?? ?? ?? ?? ? 滚轮开始转动6.3.6 机器保护门的操作 解锁保护门? ???第一步：点击Unlock pane? ?? ?? ?? ?? ?保护门解锁 锁保护门? ?? ?第一步：点击Lock pane? ?? ?? ?? ?? ? 保护门锁上6.3.