基于MSP43O非接触式光电调平系统设计.PDFVIP

2009年第 11期 仪 表 技 术 ·19· 基于MSP43O的非接触式光 电调平系统设计 周成刚 (上海科学院 集成 电路制造装备研究中心，上海 201203) 摘要 ：介绍一种基于超低功耗 MSP430的非接触式光电调平系统设计 ，通过光 电位置传感器PSDS1880采集调平光电信号 ，经 前置放大和信号调理后反馈给调平执行机构，实现 O．08mrad的调平精度。 关键词 ：MsP430；PsD；激光 中图分类号 ：TM93O 文献标识码 ：B 文章编号 ：1006—2394(2009)11—0019—02 Design OfNOn-cOntacted PhOt0一electrOnicParallelC0ntrolSystem Based 0nM SP43O ZHOU Cheng·gang (IntegratedCircuitManufact