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硅片表面黑点汇报 廖经理、史海辉、陈月琴、顾蓓 2010.07.04 目录 一：问题描述 二：数据统计分析 三：电子能谱图检测 四：可能原因分析 五：后续工作计划 六：结束语 问题描述 硅片表面的黑点比例占10%点左右，严重的占3% 1.因硅片表面有黑点，员工需逐一地分选，挑出黑点；分选仪无法分选出黑点，需人工再次复检，影响产能 2.因硅片表面质量不达标（黑点），我们加工的产品堆积在仓库 黑点数据统计分析 小晶锭来料检验数据 7月份小晶锭来料检验如下： 电子能谱图检测 电子能谱图检测 电子能谱图检测 谱图处理 : 没有被忽略的峰 处理选项 : 所有经过分析的元素 (已归一化) 重复次数 = 3 标准样品 : C CaCO3 22.06.2010.12:00 AM Si SiO2 22.06.2010.12:00 AM 元素重量原子 百分比百分比C K18.4234.55Si K81.5865.45总量100.00 谢 谢！ * 谱图处理 : 没有被忽略的峰 处理选项 : 所有经过分析的元素 (已归一化) 重复次数 = 3 标准样品 : C CaCO3 22.06.2010.12:00 AM Si SiO2 22.06.2010.12:00 AM 100.00 总量 65.39 81.54 Si K 34