MEMS复合式振动能量采集器-Core.PDFVIP

第 17 卷 　第 6 期 　 光学 精密工程 Vol . 17 　No . 6 　　 　　　　　　 2009 年 6 月 　 　 　Op tics and Preci sion Engineering 　　　 　　　 　　 J un . 2009 ( ) 文章编号 　1004924X 2009 MEMS 复合式振动能量采集器 张杨键 ,伞海生 (厦门大学 萨本栋微机电研究中心 ,福建 厦门 36 1005) 摘要 :介绍了一种结合了压电式能量采集与静电式能量采集原理的复合式振动能量采集器 。其结构通过有限元分析软 件的优化设计 ,得到了期望的低频共振频率 。为了预测这个复合式振动能量采集器的性能 ,建立了解析模型 ,在此基础 上使用