《溶胶-凝胶法制备氧化锌铝膜的择优生长方向对电性质的影响》-毕业论文设计（学术).docVIP

溶胶-凝胶法制备氧化锌铝膜的择优生长方向对电性质的影响 摘 要 这项研究采用不同加热方法和初始膜层，通过溶胶—凝胶法在玻璃和硅基膜上制备了氧化锌铝(AZO)膜，研究了氧化锌的微观结构与电性能之间的关系。研究发现添加乙醇胺（MEA）、使用初始层或者加大温度梯度明显地加快了膜沿着（002）方向的生长速度。然而，载流子迁移率增加很小，而载流子浓度没有受影响甚至没有减少。一般情况下，膜的电导率没有明显增加。可以得出结论：这三种方法有利于提高晶体质量从而提高AZO膜的迁移率，但使由溶胶—凝胶法制得的氧化锌膜的导电性能差的主要原因是掺杂剂的活性较低，这是进一步改善膜性能的关键因素，应该首先解决。 关键词：择优生长方向；电性质；铝掺杂剂；氧化锌；溶胶—凝胶法；透明导电氧化物 1 引言 近年来，具有宽带能隙的透明导电氧化物已得到高度重视，因为它们可以用于紫外激光二极管，透明电极液晶显示器，触摸屏，由于其特殊的光电性质，还可应用于太阳能电池膜的窗口层中。其中，人们对氧化锌给予很大期望，因为它具有较大的激发子结合能，高击穿强度，良好的耐辐射损害性能，而且大面积单晶体技术和氧化锌外延生长技术得到了良好的发展。事实上，氧化锌铝（AZO）替代氧化铟锡（ITO）薄膜在制造液晶显示器方面中的大多数问题已经解决。此外，在实验室中获得的氧化锌铝的质量是还不够稳定应用在实际的透明电极中。与氧化锡和氧化铟相比，氧