扫描电镜在材料研究中的应用-所级公共技术服务中心-上海应用物理.PDF

扫描电镜 在材料研究中的应用 材料评估中心 何绥霞 2018年05月17 日 内容提要  一 原理  二 主要功能及应用 （一） 二次电子像 （二）背散射电子像 （三）能谱分析 （四）背散射电子衍射  三 扫描电镜的操作 型号： LEO 1530VP 型号：Merlin Compact 分辨率：1.0nm at 20kV；5nm at 0.2kV 分辨率：1.0nm at 15kV；1.7nm at 1kV 加速电压：0.1KV-30kV 加速电压：0.05KV-30kV 有效放大倍数：30-200K 放大倍数：12-20000K 一 原理 扫描电镜在材料研究中的范围  1. 宏观结构 ：一般指人的肉眼和放大镜所能看到的材料结构  2. 微观结构 ：指原子、分子、及原子内部的原子核和电子结构 ，也包括更小的基本粒子 ， 例如 ：中子、质子、介子、超子等。  3. 介观 （mesoscopy ）结构:是80年代提出的概念 ，它研究的尺度为宏观和微观之间的 范围 ，它包括团簇 （原子聚合体 ）、纳米和亚微米尺度 （0.1μm －1μm ）。 扫描电镜所研究的材料显微特性尺度主要在介观范围内 。 显微成分 显微组织 显微结构 材料的宏观性能由其显微特性决定  扫描电子显微境（Scanning Electron Microscope ）缩写为SEM  能量色散谱 （Energy Dispersive Spectro-scopy ）EDS  电子背散射衍射 （Electron Backscatter Diffraction) EBSD SEM EDS EBSD 成分分析 图像观察 晶体取向及结构 图像分析 扫描电子显微镜的主要构成 四大系统： 1 电子光学系统 2 信号收集及显示系统 3真空系统 4 电源系统 电子光学系统 包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件。  电子枪 SEM 中的电子枪加速电压较TEM的低，小于30KV。场发射电子枪，束斑很小在几个纳米。 几种类型电子枪性能比较 电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径  电磁透镜 功 能： 聚焦电子枪束斑，50 μm→nm级斑点。 SEM中束斑越小，成像单元越小，分辨率就愈高。  扫描线圈 使电子束偏转，并在样品表面作光栅状扫描，电子束在样品上的扫描动作和显示器 上的扫描动作严格同步，激发多种电子信号。  样品室 功 能：放置