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场发射显示Ag膜电极的制备及其电性能-本原扫描探针显微镜SPM
第 30卷 第 5期 发 光 学 报 Vol30 No5
2009年 10月 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE Oct. , 2009
文章编号 : (2009)
场发射显示 Ag膜电极的制备及其电性能
曾祥耀, 叶 芸 , 袁军林 , 郭太良
(福州大学 物理与信息工程学院 , 福建 福州 350002)
( )
摘要 : 场发射显示 FED 被认为是 CRT的平板化 ,受到人们关注。作者采用直流磁控溅射法 ,在 A l O 过渡
2 3
层上制备面心立方结构的 Ag多晶薄膜。通过 XRD 、SEM、AFM 测试分析发现 ,溅射功率分为两个区域 ,在溅
n
射功率不高于 2. 8 kW 时 ,沉积速率随着功率线性增大 ,得到 Ag膜晶粒尺寸均一 ,薄膜电阻率逐步降低 ;溅射
功率高于 2. 8 kW 后 ,沉积速率没有显著增大 , 出现较多的大晶粒 , 电阻率升高,并且从理论上给出了解释。
c
综合来看 ,溅射功率在 2. 8 kW 所制备的 Ag膜微观结构质量达到最佳 , 电阻率也达到最小值。
.
关 键 词 : 银薄膜 ; 磁控溅射功率 ; 微观结构 ; 电阻率
中图分类号: O484. 1; O484. 42 PACS: 73. 61. A t; 81. 15. Cd PACC: 7360T; 8115C 文献标识码 : A
m
等 [ 8 ]用溅射法制备了高反射率 AgCu 纳米薄膜
1 引 言 [ 9 ]
o
玻璃 ;邵建达等 研究了在 K9 玻璃上采用磁控
FED 兼有 CRT的高画质和 LCD 的薄型低功 溅射法制备 Ag膜的微结构和光学常数。然而在
c
耗的优点被认为是 CRT 的最好继承者 ,得到了广 应用于平板显示的大面积钠钙玻璃上采用磁控溅
.
泛关注。同时 , FED 还具有分辨率高、色再现性 射法制备 Ag膜并对其导电性能的研究却鲜有报
( )
好、对比度高 大于 100 ∶1 、响应速度快、耐严酷 道。同时 , 由于 Ag与钠钙玻璃的附着力比较差 ,
的高低温、抗振动冲击、电磁辐射极微、生产成本 在一些特殊的气氛中易被腐蚀脱落。考虑到
[ 1, 2 ] m [ 10 ]
较低、易于实现数字化显示等特点 。 A l O 和 Ag膜具有较高的附着力 ,选择 A l O
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