第八章电光学基础.pptVIP

电子显微学发展历史简要介绍 1.1 程序设计语言/概述 1.1 程序设计语言/概述 1.1 程序设计语言/概述 大连理工大学材料科学与工程学院 吴爱民 《近代材料分析技术》多媒体课件 * 第二篇 材料电子显微分析 技术条件 理论基础 电子显微学发展历史简要介绍 1897年，布劳恩（C.F.Braun）设计并制成最初的示波管，这为电子显微镜的诞生准备了技术条件。 1926年，布施（H.Busch）发表有关磁聚焦的论文，指出电子束通过轴对称电磁场时可以聚焦，如同光线通过透镜时可以聚焦一样，因此可以利用电子成象。这为电子显微镜做了理论上的准备。 1930-1933 鲁斯卡与Von Borries 制造了第一台电子显微镜。（1939西门子） 1931.5.28 M.Rüdenberg-向德、法、英等国申请电子显微镜专利（凭理论推测）。 1932年12月和1936年10月获得法、英的批准，1953年获得西德的批准。电子显微镜一词首先出现在Rüdenberg的专利中。 1942年英国制成第一台实验室用扫描电镜，1965年开始生产商品化扫描电镜。 电子显微学发展历史简要介绍 1956年Menter得到酞氰铂和酞化氰铜的点阵平面条纹像（1纳米）。 1967年Allpress和Sanders得到分辨率为0.7纳米的氧化物的像。 1971年Iijima高分辨观察到氧化铌中金属原子的分布（～0.3纳米），标志高分辨像与晶体结构对应关系的产生。 目前，电子显微镜的分辨率接近0.1纳米。 电子显微学发展历史简要介绍 电子显微镜在材料研究中发挥的作用 位错的观察证实了位错理论的正确性。（衍衬像） 准晶的发现扩展了晶体的范畴。（电子衍射） 1992年国际晶体学会重新研究晶体的定义：“晶体是指任何给出基本上有明确衍射图的固体，而非周期性晶体是指无周期性的晶体”。 3.纳米碳管的发现引发了纳米材料研究的高潮。（高分辨像） 电子显微镜在材料研究中发挥的作用 总之，作为结构分析手段电子显微镜具有高空间分辨率和能量分辨率，已成为显微结构表征和微区成份分析不可缺少的工具。电子显微镜在材料领域的广泛应用，对于研究和开发新材料，特别是纳米材料的开发具有非常重要的作用。 方法 电子衍射 质（量）厚（度）衬度像和高分辨像 X 射线能谱 电子能量损失谱 二次电子像 洛伦茨电子显微术 电子全息 Z-衬度像 能量过滤像 可获得信息 晶体对称性，晶体取向，样品厚度 晶体缺陷，原子排列 元素种类，分布，样品厚度 元素种类，分布，样品厚度 表面形态 磁畴结构 磁畴结构，晶体势，样品厚度 元素分布 电子显微学方法和获得的信息 用于材料结构表征电子显微方法 A 晶体结构的表征 1.电子衍射 透射电子衍射; 反射电子衍射; 会聚束电子衍射; 微束电子衍射。 2. 电子显微像 ? 振幅（衍射）衬度像; 明场像; 暗场像； （对中暗场像，弱束暗场像） ? 高分辨像； ? Z-衬度像; ? 能量过滤像； ? 二次电子像； ? 电子全息。 用于材料结构表征电子显微方法 B 材料成份测定 X-射线能谱； 电子能量损失谱。 C 磁畴结构的表征 洛伦兹电子显微方法； 电子全息。 Chapter 8 电子光学基础 The foundatiion of Electron Optics 构建电子显微镜的理论和技术基础 本章要求： 1.了解电磁透镜的工作原理和特点 2.掌握加速电压和电子波长的关系 1.光学显微镜的分辨率极限 有效放大倍数: 0.15mm/200nm=750倍 近似的 可见光波长范围390~760nm 分辨率极限200nm 8.1 电子波和电磁透镜 2.电子波的波长与加速电压 U 之间的关系 8.1 电子波和电磁透镜 得到波长与加速电压 U 之间的关系式: Prince Louis-victor de Broglie 8.1 电子波和电磁透镜 在常用的100～200KV加速电压下,电子波的波长要比可见光小5个数量级。 3.电磁透镜:利用磁场聚焦 8.1 电子波和电磁透镜 4.软磁壳及极靴对聚焦磁场的影响 8.1 电子波和电磁透镜 极靴 软磁壳 (低碳钢或纯铁) 8.2 电磁透镜的像差与分辨本领 像差 分辨率 包括几何像差和色差 几何像差:由磁场几何形状缺陷造成,主要包 括球差和像散 色差:由电子波的波长或能量发生一定幅度 的改变造成 1).球差(球面像差) 因磁透镜中心区域与边缘区域对电子的 折射能力不符合预定的规律而造成的。 8.2 电磁透镜的像差与分辨本领 像差 分辨率 球差