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电弧离子镀制备TiBN纳米复合涂层
第46 卷 第 6 期 表面技术
2017 年6 月 SURFACE TECHNOLOGY ·151 ·
电弧离子镀制备 TiBN 纳米复合涂层
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田灿鑫 ，李助军 ，刘怡飞 ，杨兵 ，付德君 ，苏峰华
（1.广州铁路职业技术学院 机械与电子学院，广州 510430；2.武汉大学 加速器实验室，武汉 430072；
3.华南理工大学 机械与汽车工程学院，广州 510641）
摘 要：目的在纯N2 气氛环境下，低温制备TiBN 纳米复合涂层，为TiBN 涂层工业化生产积累科学数据。
方法 采用离子源增强阴极电弧离子镀系统，在硬质合金衬底上制备TiBN 纳米复合涂层，系统研究了N2 气
压对TiBN 涂层晶体结构、表面形貌、硬度和耐磨性能的影响。结果 N2 气压对TiBN 纳米复合涂层的晶体
结构、表面形貌、硬度及摩擦系数的影响明显。随着N2 气压的升高，TiBN 涂层中的 TiN 晶相逐渐增多，
TiB2 晶相逐渐减少，为TiN 晶粒和TiB2 晶粒镶嵌于非晶BN 基体的复合结构。在0.5 Pa 气压下，涂层硬度
达3150HV。对于对磨材料硬质合金而言，TiBN 涂层的摩擦系数为0.4 左右。结论 离子源增强电弧离子镀
技术可以用于TiBN 涂层的制备，制备出的TiBN 涂层为纳米晶镶嵌于非晶的纳米复合涂层，涂层的显微硬
度较高。在TiBN 纳米复合涂层的工业化生产中，沉积N2 气压不宜偏高。
关键词： 离子源增强电弧离子镀；TiBN 涂层；显微硬度；摩擦系数
中图分类号：TG174.444 文献标识码：A 文章编号：1001-3660(2017)06-0151-05
DOI ：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.023
Deposition of TiBN Nanocomposite Coatings by Cathodic Arc Plating
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TIAN Can-xin , LI Zhu-jun , LIU Yi-fei , YANG Bing , FU De-jun , SU Feng-hua
(1.School of Mechanical Electronics, Guangzhou Railway Polytechnic, Guangzhou 510430, China;
2.Accelerator Laboratory, Wuhan University, Wuhan 430072, China;
3.School of Mechanical Automotive Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510641, China)
ABSTRACT: The work aims to gather scientific data for industrial production of TiBN coating by preparing TiBN nanocompo-
site coating at low temperature in pure N2 . TiBN coating was deposited on cemented carbide
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