UPW之UF膜再利用於CMPBG废水回收之测试研究.PDFVIP

UPW 之UF 膜再利用 於CMP / BG 廢水回收之測試研究 世界先進積體電路股份有限公司 廠務工程部 水氣化課 郭靜宜 大綱 大綱 摘要 前言 本廠所使用之研磨原液的介紹 本廠之研磨廢水介紹比較表 本廠實驗模組之設計流程現場圖 實驗模組之操作條件 實驗計劃 實驗結果 費用比較 結論 環保的要求 未來之發展 2/35 2007年科學園區廠務技術研討會 摘要 摘要 近來利用薄膜的技術有逐漸成熟的發展，而本廠研究利用小型試驗