先进制造技术第章微细加工.pptVIP

第5章 微细加工 微机械与微细加工概述 硅微细加工技术 光 刻 微细电火花加工 微细切削加工技术 薄膜气相沉积技术 纳米加工技术 5.1 微机械与微细加工概述 1.微机械 （1）微机械的基本特征 体积小、重量轻、结构坚固、精度高。 能耗小、响应快、灵敏度高。 性能稳定、可靠、一致性好。 多功能化和智能化，既能感知环境又能控制环境 适于大批量生产，制造成本低廉 。 （2）微机械的主要产品分类 微构件 （微薄膜、微轴、微孔、微梁、微探针、微连杆、微齿轮、微轴承、微弹簧 ） 微传感器（压力传感器、加速度计、位移传感器、流量计、温度传感器、微触觉传感器、微型生物传感器、微型图像传感器、微陀螺仪 ） 微执行器 （微电机、微阀、微泵、微开关、微扬声器、微谐振器 ） 专用微机械器件及系统 （人造器官、体内施药及取样微型泵、微型手术机器人 ） 5.1 微机械与微细加工概述 2.微细加工技术 （1）微细加工技术构成 由IC工艺技术发展起来的硅微细加工技术 在特种加工和常规切削加工基础上发展形成的微细制造技术 由上述两种技术集成的新方法，如LIGA、LIGA-LIKE 等 （2）微细加工与常规尺寸加工的区别 加工精度的表示方法不同，用绝对精度表示 加工机理存在很大的差异，必须考虑晶粒在加工中的作用 加工特征明显不同 ，以分离或结合原子、分子为特征 当构件缩小到一定尺寸范