光学薄膜控技术-13-2012.ppt

光学监控系统 宽光谱监控系统 宽光谱监控 宽光谱扫描，在很宽的波长范围内监视薄膜的特性，使控制既直观又精确 监控原理：实时测量膜系的光谱特性，并不断地比较实时测定的光谱曲线与理论要求的曲线。在不考虑误差的情况下，当两者完全一致时，就认为膜层达到理论设计厚度 宽光谱监控 宽光谱监控的波长、光学厚度、透过率的三维函数图 宽光谱监控 宽光谱监控的优点 可以直观方便地控制宽谱特性 宽谱补偿：前面膜层的误差，在一定程度上被后续膜层补偿和截断 实现非规整膜系的监控 镀制过程中对透、反射特性的曲线分析处理，可以计算出已镀膜层的折射率、吸收率、色散、厚度等参数 Filmonitor BS宽光谱监控系统 宽光谱监控原理图 Filmonitor BS宽光谱监控系统 系统特点 每秒输出三个数据值 有效监控波长范围从400nm到800nm，完全覆盖可见光范围 系统测量精度可以达到0.1% Filmonitor BS-硬件特点 光路 使用紫外增强石英光维接收光信号，传输损耗优于普通光纤，紫外波段的传导特性较好。光纤孔径角22°。 光源后添加一个球形反射镜，增加光源使用效率 加光阑限制杂散光进入 光源选用卤钨灯，特点是亮度高，稳定性好。采用风冷 光谱仪：2048像元线阵CCD，分辨率2-3nm。工作范围：1100-200nm。 Filmonitor BS-软件功能 膜系光谱特性计算