纳米压痕仪的压头面积函数校准方法的比较研究.pdf

第３６卷　第４期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３６，№４ ２０１５年　７月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｊｕｌｙ，２０１５ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１５．０４．１５ 纳米压痕仪的压头面积函数校准方法的比较研究 １ ２ １ ２ 黎正伟 ，　陶兴付 ，　树学峰 ，　任玲玲 （１．太原理工大学 应用力学与生物医学工程研究所，山西 太原０３００２４； ２．中国计量科学研究院，北京 １０００２９） 摘要：基于原子力显微镜的直接测量法和通过熔融石英标准样块校准的间接测量法对纳米压痕仪的压头面积 函数及机架柔度进行校准，并将这２种方法的校准结果分别应用到熔融石英和聚碳酸酯２种标准样块的压痕测 试。压痕实验结果表明，在较浅压入