晶体生长软件FEMAG之各种晶体生长方法简介.ppt

太阳能电池使用的硅片,是由锭块切割而来，由于目前的线锯技术的局限，约有40％以上的硅材料会被损失。EVERGREEN 开发的string ribbon技术给我们带来了一种全新的概念。 ??? 技术中，使用两根高温带状物直插于硅熔液中，并经过一定时间后与熔化的硅凝固在一起。这个过程是这样进行的：带状物很长而且绝对高于硅熔液，但并不会发生卷，这样才使得硅熔液可以顺利注入容器。为了进行下一步工作，带状物必须被暂时切断，但这并不会影响它在最后程序中还会被续接起来。其优点在于，它用同等量的硅可以生产出相当于传统生产法的两倍多的太阳能电池。另外，这样的太阳能电池能容纳相对较高的能量。此法的局限性在于必须使用专用的多晶硅，因原材料的供应不足，此方法运用到实际批量生产的公司很少。 * * 晶体生长软件FEMAG 之 各种晶体生长方法的简介 块晶体材料 FEMAGSoft ? 2010 哪些工业领域需要用到各类块晶体材料？ 半导体和光伏产业用硅/锗晶体材料 用于通信，LED,国防和光伏产业的Ⅲ-Ⅴ族化合物晶体材料，如GaAs Inp InSb SiC GaN等 红外成像用HgCdTe晶体材料 高能物理，医学成像和光学工业用氟化物/卤化物/氧化物闪烁晶体 其它工业领域 块晶体生长方法 FEMAGSoft ? 2010 直拉法 (CZ) 区熔法(FZ) 定向凝固法(DSS) 垂直/水平布里兹曼法 (VB) 垂直梯度凝固法 (VGF) 物理气相沉积法(PVT) 硅晶体生长方法 FEMAGSoft ? 2010 String Ribbon法 (Evergreen Solar Inc.专利设计) 导模法（EFG） 热场设计的重要性 FEMAGSoft ? 2010 晶体生长的首要问题是设计适合的热场和相应的操作条件，这不仅决定了晶体的主要特性，对于每个集成电路晶片制造商而言，也是最主要的核心技术所在。 直拉法（CZ） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 直拉法（CZ） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 Cz法 在集成电路产业中大约90% 的单晶生长都使用直拉法技术 部分锗晶体生长使用直拉法 蓝宝石和大多化合物晶体生长使用直拉法，或者其衍生技术如泡生法，液封直拉法（ LEC ）等 在光伏市场中的直拉法晶片的市场占有率会略低于定向凝固法生产晶片 直拉法（CZ） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 半导体和光伏产业中的当前热点都与提高晶体生长产量和质量有关 连续提拉法（CCZ） 磁场拉晶法（ MCZ ） 提高生长速度 杂质控制（氧，碳）以及掺杂物 影响太阳能电池效率的微空隙和位错 直拉法（CZ） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 成本降低会受到设备及材料消耗的限制 需要进一步革新以控制成本及增加产出 直拉法（CZ） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 垂直型: Cusp : 水平型: FEMAGSoft ? 2006 直拉法（CZ） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 在热应力的某个区域，晶体是处于亚稳态的，某种微扰能对于其离开亚稳态是必要的。在该模型中，可以了解到晶体能承受的应力要大于拉伸测试的临界值。 根据位错形成的经典理论，位错的形成开始于生长界面附近某区域，其应力达至最大值，位错继而会向晶体深处生长。在应力比较高的区域，因以下原因产生的微扰能会导致位错的形成。 - 温度波动（流体力学/生长系统非稳定性） - 局部回熔 - 到达生长界面处的粒子 结构损失（ Structure lose ）是当前影响生长产出的最主要原因： 区熔法（FZ） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 主要适用于大功率设备 世界最高的电池转换效率也是基于区熔法 设备和原材料昂贵 定向凝固法（DSS） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 定向凝固法（DSS） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 在过去几年半导体晶体生长制造商都因采用直拉法/垂直梯度凝固法（ CZ/VGF ）而获益 定向凝固法（DSS） FEMAGSoft ? 2010 FEMAGSoft ? 2006 定向凝固法工艺的主要问题： 增加产出 晶粒尺寸的控制和增大 掺杂/杂质（ C/N ）分布 位错 生长速率 加热功率分布 定向凝固法工艺的非主要问题： 其成本是直拉法的1/3，光伏市场占有率超过50% 低氧浓度 对硅原材料需求较低 太阳能电池使用的硅片,是由锭块切割而来