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薄膜制备与表面分析Thin Film Synthesis and Surface Analysis Qing-Yu Zhang State Key Laboratory for Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams 概论 ?? 表面及表面科学 固体的表面、或者说界面， 在人们的社会实践中起着极为重要的作用。 表面科学的研究，对整个科学技术的发展具有重要的意义。 表面科学包括表面物理、表面化学、表面电子学、表面生物学等。 概论 ?? 表面及表面科学 固体表面：物体与真空或气体的界面。 固体表面可以指从单一的第一个原子层到几个原子层厚度的表面层，甚至深达几个微米的表面层。 在热力学平衡的条件下，固体表面的化学组成、微观结构、原子振动状态等均会与固体内部产生一定的差异。 概论 ?? 表面及表面科学 Since it requires energy to terminate the bonding, the surface is energetically less stable than the bulk. 概论 ?? 表面分析技术 表面分析技术是人们为了获取表面的物理、化学等方面的信息而采用的一些实验方法和手段。 概论 ?? 表面分析技术 一般地说，它是利用一种探测束——如电子束、 离子束