第八章固传感器2.ppt

第八章 固态传感器 固态传感器的优点： 物性型传感器，没有相对运动部件，无磨损，结构简单，小型轻量； 半导体材料为敏感元件，易于集成化、一体化、多功能化、图像化、智能化。 功耗低，安全可靠。 缺点 非线性，测量范围窄； 易产生温飘，需要温度补偿； 性能参数离散性大，互换性差。 §8-1 霍尔磁敏传感器 在电路中，霍尔元件常用下图所示的符号 表示： 霍尔元件的命名法： 欧姆接触 欧姆接触是指金属与半导体的接触，而其接触面的电阻值远小于半导体本身的电阻，使得组件操作时，大部分的电压降在于活动区(Active region)而不在接触面。欲形成好的欧姆接触，有二个先决条件：（1）金属与半导体间有低的界面能障(Barrier Height)（2）半导体有高浓度的杂质掺入(N ≧10EXP12 cm-3)前者可使界面电流中热激发部分(Thermionic Emission)增加;后者则使界面空乏区变窄，电子有更多的机会直接穿透(Tunneling)，而同使Rc阻值降低。若半导体不是硅晶，而是其它能量间隙(Energy Cap)较大的半导体(如GaAs)，则较难形成欧姆接触 (无适当的金属可用)，必须于半导体表面掺杂高浓度杂质，形成Metal-n＋-n or Metal-p+-p等结构。 霍尔式位移传感器 霍尔元件与被测物体相连接，当被测物移动，产生