含氟废水处理改善实例介绍ImprovementsinTreatmentofFluoride.PDFVIP

含氟廢水處理改善實例介紹 Improvements in Treatment of Fluoride-containing Wastewater 1 2 3 4 李清屏 王浩豫 賴宏昌 張見清 134世界先進廠務部水氣化工程課 2世界先進風險暨環安管理部 摘要 含氟廢水的處理一直是半導體廠和光電廠廢水處 理中重要的一環，其主要來自濕式蝕刻、爐管及 晶圓清洗製程，成分包括HF和NH4F ，本厰依濃度 分類（以200 ppm為界）個別處理，並在高濃處理 方面改善其加藥控制系統，將原先On-Off控制器 改為比例回授控制器，本文略為說明其基本架構 及調整方法並探討其對氟離子控制的穩定性。 而LHF的處理方式，則主要採用離子交換樹脂吸 附氟離子，不僅徹底去除氟化物，更能達到水資 源回收再利用的目的，本文說明LHF-R相關系統 單元流程及其成果。 高濃處理系統流程圖 反應槽加藥控制系統的元件方塊圖–應 用比例回授控制增加對氟離子濃度控制 之穩定度 應用比例式控制所獲得之穩定度明顯優 於原來的控制系統 On-Off control Proportional feedback control LHF-R 回收系統流程 Reclaim LHF water LHF-R系統運轉處理後水質 氟離子濃度獲得穩定的控制 放流水氟離子超限趨勢 結論 相關含氟廢水的處理，本文探討的內容有兩大主 題，包括高濃處理加藥系統的改善及低濃度含氟 廢水的回收，達成的目標： 1 、對氟離子控制的穩定度大增，降低放流水氟離 　子超限之風險。 2 、資源回收再利用，並且提高本厰回收水之製程 　回收率超過85﹪。