半导体材料与器件- 第五周分解.ppt

半金属这个名词起源于中世纪的欧洲，用来称呼铋，因为它缺少正常金属的延展性，只算得上“半”金属。 目前则指导电电子浓度远低于正常金属的一类金属。 第一章 半导体的基础知识 导带与价带之间有一小部分重叠。 不需要热激发，价带顶部的电子会流入能量较低的导带底部。 在绝对零度时，导带中就已有一定的电子浓度，价带中也有相等的空穴浓度。 这是半金属与半导体的根本区别。但因重叠较小，它和典型的金属也有所区别。 第一章 半导体的基础知识 除上述元素外，化合物也可以是半金属，如 Mg2Pb。另有一些化合物，如HgTe、HgSe等禁带宽度等于零，有时称作零禁带半导体，实质上也是半金属。 第一章 半导体的基础知识 半导体的基础知识 1.3 半导体材料的特点及分类 1.5 二极管 1.6 三极管 1.7 场效应管 第一章 1.4 半导体的能带结构 1.1 半导体的晶体结构 第一章 半导体的基础知识 一、晶体的基本知识 晶体 准晶体 非晶体 固体 单晶体 多晶体 准晶体具有与晶体相似的长程有序的原子排列；但是准晶体不具备晶体的平移对称性。 晶体的基本特点： 具有一定的外形和固定的熔点； 组成晶体的原子(或离子)在较大的范围内(至少是微米量级)是按一定的方式有规则的排列而成—长程有序。（如Si，Ge，GaAs） 第一章 半导体的基础知识 砷化镓(GaAs)晶体基片 硅(Si)晶体基片 Ge晶体基片 晶体又可分为：单晶和多晶。 单晶：指整个晶体主要由原子(或离子)的一种规则排列方式所贯穿。常用的半导体材料锗(Ge)、硅(Si)、砷化镓 (GaAs)都是单晶。 多晶：是由大量的微小单晶体（晶粒）随机堆积成的整块材料，如各种金属材料和电子陶瓷材料。 第一章 半导体的基础知识 非晶的基本特点： 无规则的外形和固定的熔点； 内部结构也不存在长程有序，但在若干原子间距内的较小范围内存在结构上的有序排列—短程有序（如非晶硅：a-Si） 第一章 半导体的基础知识 非晶、多晶和单晶示意图 第一章 半导体的基础知识 现在不得不说准晶。准晶体的发现，是20世纪80年代晶体学研究中的一次突破。这是我们做电镜的人的功劳。1984年底，D. Shechtman等人宣布，他们在急冷凝固的AlMn合金中发现了具有五重旋转对称但并无无平移周期性的合金相，在晶体学及相关的学术界引起了很大的震动。不久，这种无平移同期性但有位置序的晶体就被称为准晶。（2011年若贝尔化学奖） 第一章 半导体的基础知识 对于单晶Si或Ge，它们分别由同一种原子组成，通过二个原子间共有一对自旋相反配对的价电子把原子结合成晶体。 这种依靠共有自旋相反配对的价电子所形成的原子间的结合力，称为共价键。 二、共价键的形成和性质 第一章 半导体的基础知识 由共价键结合而成的晶体称为共价晶体。Si、Ge都是典型的共价晶体。 第一章 半导体的基础知识 硅的晶体结构 共价键的性质：饱和性和方向性 饱和性：指每个原子与周围原子之间的共价键数目有一定的限制。 Si、Ge等Ⅳ族元素有4个未配对的价电子，每个原子只能与周围4个原子共价键合，使每个原子的最外层都成为8个电子的闭合壳层，因此共价晶体的配位数(即晶体中一个原子最近邻的原子数)只能是4。 第一章 半导体的基础知识 方向性：指原子间形成共价键时，电子云的重叠在空间一定方向上具有最高密度，这个方向就是共价键方向。 共价键方向是四面体对称的，即共价键是从正四面体中心原子出发指向它的四个顶角原子，共价键之间的夹角为109°28′，这种正四面体称为共价四面体。 第一章 半导体的基础知识 三、金刚石结构晶胞 (Si、Ge) 图1.3(a)画出了由四个共价四面体所组成的一个Si、Ge晶体结构的晶胞，统称为金刚石结构晶胞。 整个Si、Ge晶体就是由这样的晶胞周期性重复排列而成 它是一个正立方体，立方体的八个顶角和六个面心各有一个原子，内部四条空间对角线上距顶角原子1/4对角线长度处各有一个原子，金刚石结构晶胞中共有8个原子。 第一章 半导体的基础知识 金刚石结构晶胞也可以看作是两个面心立方沿空间对角线相互平移1/4对角线长度套构而成的。 面心立方是指一个正立方体的八个顶角和六个面心各有一个原子的结构，如图1.3(b)所示。 第一章 半导体的基础知识 图1.3 (a)金刚石结构的晶胞 (b)面心立方 第一章 半导体的基础知识 四、闪锌矿结构(GaAs) 具有类似于金刚石结构的硫化锌(ZnS)晶体结构，或称为闪锌矿结构。 GaAs晶体中每个Ga原子和As原子共有一对价电子，形成四个共价键，组成共价四面体。 第一章 半导体的基础知识 闪锌矿结构和金刚石结构的不同之处在于套构成晶胞的两个面心立方分别是由两种不同原子组成的。 GaAs的闪锌矿