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3D 検査 激光変位計6set（上3/下3） 装载机部 ウェハーキャリア セット数:2 卸载机部 分類数:9 *17分類への拡張可能 Thank you for your participations Best wishes to all of you * * Feb.2009 太阳能晶片検査装置 系统構成 边缘検査 – 左 边缘検査- 右 不可視裂缝検査 （NVCD） X 上面 表面検査 边缘検査 – 後 边缘検査– 前 不可視裂缝検査（NVCD） Y 下面 表面検査 晶片 90°回転 3D 検査 To ソーター アンローダ 基本仕様 晶片类型 単結晶、多結晶ソーラ
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