石墨烯场效应晶体管的光响应特性研究-北京大学.PDFVIP

北京大学学报(自然科学版), 第 50 卷, 第 4 期, 2014 年 7 月 Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Pekinensis, Vol. 50, No. 4 (July 2014) doi: 10.13209/j.0479-8023.2014.102 石墨烯场效应晶体管的光响应特性研究 1 2 1 1 1 2 1,† 1 魏子钧 王志刚 李晨 郭剑 任黎明 张朝晖 傅云义 黄如 1. 北京大学微电子学研究院 , 北京 100871; 2. 北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室 , 北京 100871; † 通信作者 , E-mail: yyfu@pku.edu.cn 摘要 采用电子束曝光和剥离工艺制备石墨烯场效应晶体管, 并研究其光电响应特性。结果表明 ,