hz035项目需求 - 南京工业大学.docxVIP

PAGE \* MERGEFORMAT 9 附件1：NJTECH2018-HZ035项目需求 包一 升华仪（1台） 一、功能要求： 1、 高温加热系统，6个独立温区，6点控温。 2、 真空系统，使整个反应热场内处于真空状态。 二、技术指标要求： ★加热炉：上下可开启，加热区上下各6段，6点控制温度；每段加热区长度设定100+200+100+100+100+100mm ；最高温度：1000℃；温区间温度差≤200℃。模糊性PID+智能30段可编程软件。 ★破真空：设计1路气体，流量计流量控制在0~500sccm。 ★极限真空度：2x10^-4Pa；漏气率检测：到达极限真空度后（2x10^-4Pa），关闭所有阀门，30min后低于1Pa。 三、基本配置要求： 1、 人机界面，可手动控制和触屏控制；不小于10寸触摸屏，带数据存储和导出功能。 2、 分子泵主泵、前级泵需标明品牌型号产地。 3、 石英外管尺寸：φ60*1200mm；配石英内管一套。 4、 配冷肼，冷却循环泵。 四、其他要求： 1、无论采购文件是否提及，供应商所递交的响应文件中所有内容均应是真实有效的；供应商所提供的产品或者服务，必须满足国家相关强制性规定要求（如CCC认证、计量器具生产许可证、医疗器械注册证、电器电子产品有害物质限制使用标识等），否则将视