MEMS执行器——微电机解析.pptVIP

微电机的应用 信息领域 微电动机与传感器、数字电路集成在一个半导体芯片上用作开关组合部件。光纤产品、光学仪器，如光开关、各种视盘机及光刻机、激光设备及激光刀等都需要精密微型电机驱动和超微电动机与光器件融合为一体的光机电系统。 微电机的应用 军事领域 各种机器昆虫、微机器人等将会在今后的反恐、救援、战争前线侦察、考古、司法取证、科学探索等方面大显身手，而每一个微型探测器内部都装有大量的微电机以完成各种需要的动作。 医疗领域 医疗领域是微机械技术应用的最具代表性的领域。微创伤内窥诊疗、精密显微外科、体内局部微量给药都需要高度灵巧、高度柔顺性的微电机。 微电机的应用 人工心脏 微电机的应用 微电机的应用 航空航天领域 微电机可用在带摄像装置进入卫星、火箭或宇航飞机内检查故障的机器人上。在超微电机基础上还可以发展惯性导航器件，如微陀螺。 上海交通大学研制的抗磁悬浮微陀螺 国内外微电机研究对比 微电机研究和发展方向 目前微电机研究遇到的困难和发展趋势 1.微机械性能评测技术 微电机建模、仿真、优化设计的正确性、有效性，需要微机械性能评测技术加以评价。 2.微摩擦与微支撑 电机发出的力很小，往往会被其自身的摩擦力消耗掉。极小的运动间隙需要严格的防尘技术。发热和耐久性问题是值得关注的