小型真空系统及其加热装置的设计-毕业论文.doc

读万卷书 行万里路 毕业设计 设计题目 设计题目 小型真空系统及其加热装置的设计 学生姓名 廖 世 云 学 号 专业班级 机械09-10班 指导教师 方应翠 院系名称 机械与汽车工程学院 2013年6月7日 目 录 TOC \o 1-3 \h \u HYPERLINK \l _Toc7687 中文摘要 PAGEREF _Toc7687 1 HYPERLINK \l _Toc21790 英文摘要 PAGEREF _Toc21790 2 HYPERLINK \l _Toc1574 1 绪 论 PAGEREF _Toc1574 3 HYPERLINK \l _Toc18966 1.1 真空镀膜的意义 PAGEREF _Toc18966 3 HYPERLINK \l _Toc11105 1.2 真空镀膜技术在国内外的发展状况 PAGEREF _Toc11105 4 HYPERLINK \l _Toc10652 1.3 真空加热烘烤的重要性 PAGEREF _Toc10652 5 HYPERLINK \l _Toc3142 1.4 课题的研究的任务及背景 PAGEREF _Toc3142 6 HYPERLINK \l _Toc16686 2 设计方案的确定 PAGEREF _Toc16686 7 HYPERLINK \l _Toc11598 2.1 加热装置的选择 7 HYPERLINK \l _Toc27889 2.1.1 加热烘烤装置的类型 PAGEREF _Toc27889 7 HYPERLINK \l _Toc9890 2.1.2 加热烘烤装置的确定 PAGEREF _Toc9890 8 HYPERLINK \l _Toc11598 2.2 加热元件的选择 PAGEREF _Toc11598 8 HYPERLINK \l _Toc32252 2.2.1 加热元件的种类 PAGEREF _Toc32252 8 HYPERLINK \l _Toc7691 2.2.2加热元件的选择 PAGEREF _Toc7691 9 HYPERLINK \l _Toc1796 2.3 加热箱体的内部结构设计 PAGEREF _Toc1796 11 HYPERLINK \l _Toc12893 2.4 加热烘烤过程中的温度控制方案 PAGEREF _Toc12893 12 HYPERLINK \l _Toc30844 3 真空系统的设计及计算 PAGEREF _Toc30844 14 HYPERLINK \l _Toc7377 3.1 真空系统简述 PAGEREF _Toc7377 14 HYPERLINK \l _Toc7724 3.2 玻璃真空管壁厚的计算 PAGEREF _Toc7724 14 HYPERLINK \l _Toc6075 3.3 真空室选泵的计算 PAGEREF _Toc6075 15 HYPERLINK \l _Toc6171 3.3.1粗算主泵抽速 PAGEREF _Toc6171 15 HYPERLINK \l _Toc24067 3.3.2 流导计算 PAGEREF _Toc24067 15 HYPERLINK \l _Toc19622 3.3.3 精算主泵抽速 PAGEREF _Toc19622 16 HYPERLINK \l _Toc16215 3.3.4 前级泵的计算 PAGEREF _Toc16215 16 HYPERLINK \l _Toc27747 3.3.5 抽气时间的计算 PAGEREF _Toc27747 18 HYPERLINK \l _Toc21272 3.3.6计算扩散泵的抽气时间 PAGEREF _Toc21272 20 HYPERLINK \l _Toc7651 3.4 加热时间的计算 PAGEREF _Toc7651 23 HYPERLINK \l _Toc10100 3.4.1 玻璃真空室吸热量的计算 PAGEREF _Toc10100 23 HYPERLINK \l _Toc22745 3.4.2 中间空气吸收的热量 PAGEREF _Toc22745 23 HYPERLINK \l _Toc30349 3.4.3