多晶体X射线衍射分析应用之五薄膜表面结构分析.pptVIP

多晶体X射线衍射分析的应用之五薄膜表面结构分析 燕山大学材料学院综合实验室 燕山大学材料学院国家实验教学示范中心 常用的X射线衍射分析薄膜的方法有： 1) 所形成的薄膜的层厚及均匀性(多层膜)——用小角X射线散射装置进行长周期散射的位置及各峰宽的测定。 2) 所形成的薄膜的层是由何种元素构成的(多层膜)——用小角X射线散射装置进行长周期强度的测定。 3) 所形成的薄膜层的结构测定——对所测定衍射图形进行定性分析(用PDF卡片进行物相检索)。 4) 所形成的薄膜层的晶体结构与距表面的距离变化的信息——使用薄膜X射线衍射法，采用低掠入射角法，对逐步改变X射线入射角时所得到的衍射图形进行定性分析。 一、薄膜X射线的光学系统 薄膜X射线衍射法的原理是为低掠入射角法，即低的入射角法。如图所示： 对掠入射薄膜测试，一般应采用平行光束法。 进行薄膜测定时，两点注意： 1) 一定要采用低的掠入射角； 2) 当进行表面深度方向状态分析时，要提高入射X射线的平行度。 二、有效穿透深度 在低掠入射角法条件下，有效X射线穿透深度表示为： t＝－ln(1－It/I?)sin?0sin?/?(sin?0+sin?) 令 L＝－ln(1－It/I?) 则