Q_DZD002-2016超纯气体纯化装置.pdf

Q/DZD 大连中鼎化学有限公司企业标 准 Q/DZD 002 -2016 超纯气体纯化装置 2016-2-27 发布 2016-2-27 实施 大 连 中 鼎 化 学 有 限 公 司 发布 Q/DZD 002-2016 前 言 本标准根据GB/T1.1—20 16的结构和编写规则制定的。 本标准由大连中鼎化学有限公司提出。 本标准由大连中鼎化学有限公司归口。 本标准由大连中鼎化学有限公司负责起草。 本标准主要起草人：邱长春、于洋、赵霖、乐昀、计国栋。 1 Q/DZD 002-2016 超纯气体纯化装置 1 范围 本标准规定了超纯气体纯化装置的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明 书、包装、运输和贮存。 本标准适用于V （VV ）、H 、O、X 、D （B ）、OVV 、HVV 、HB 、OVVX 、OB工序对 原料气体进行纯化的超纯气体纯化装置。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适 用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T5832.1 气体湿度的测定 第1部分：电解法 GB/T5832.2 气体湿度的测定 第2部分：露点法 GB/T6285 气体中微量氧的测定 电化学法 GB/T8981 气体中微量氢的测定 气相色谱法 GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 TSG R0004-2009 固定式压力容器安全技术监察规程 3 分类 3.1 结构形式 超纯气体纯化装置由热交换器、催化反应器、水冷却器、脱氧脱水反应器、管道过滤器、 自动控制系统及其软件、控制阀门以及相应的外壳、管道等构成。 3.2 型号 3.2.1 纯化设备的型号按照工序、处理量进行选型： 品牌 纯度 气体种类 工序 运行方式 压力 +处理量 ZDC 9N N OVV A30 1.0 纯度：以行业内习惯用方法: 1、99.9999%-6N 2 、99.99999%-7N ； 3、99.999999%-8N 4 、99.9999999%-9N 2 Q/DZD 002-2016 气体种类：以元素符号表示: 1、N-氮气； 2 、H-氢气； 3、Ar-氩气 4 、He-氦气 5、O-氧气 纯度： 9N 表示单项杂质指标≤1ppb；8N 表示单项杂质指标≤1ppb ；7N 表示单项杂质指标≤10ppb ； 6N 表示单项杂质指标≤100ppb，以此类推； 工序： 不同原料气指标和产品气要求，采用不同工艺 （详见表1）； 运行方式：A 自动，M 手动； 流量： 3 常