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微流体力学中边界条件的探讨 　　微流体力学中边界条件的探讨 　　21 2 云姜成山, 杨宜民, 　　章 ()11 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 , 长春市 130025 ; 21 广东工业大学自动化所 , 广州市 510090 摘要 : 本文从理论上详细探讨了微器件流动中的速度滑移和温度跳变边界条件 , 并和实验结果进行了比较与分析 。 　　关键词 : 微流体力学 ; 边界条件 ; 速度滑移 ; 温度跳变 　　() 中图分类号 : O482123 ; TG14 文章编号 : 1001 - 3881 20012 - 文献标识码 : A 　　出现于 80 年代后期的微机械工艺技术可提供微米 射 , 与入射角无关 。这称之为漫反射 , 反射粒子切向 　　动量的亏损必须由有限的滑移速度来平衡 , 于是有剪 尺度的传感器和致动器 。这些微型转换器与信号调节 　　切力传递到壁面上 。近壁处的力平衡导致如下滑移速 和处理电路集成后 , 组成了可执行分布式实时控制的 　　度表达式 : 微电子机械系统 (MEMS) 。这种性能为流动控制的研 　　9 u 究开辟了一个崭新的领域 。另一方面 , 由于微米尺度 ( ) l |= 2 u- ugas wallw 9 y 结构中表面积与体积之比很大 , 在流体流经这些微小 式中 , l 是气体分子平均自由程 , 下标 w 表示壁 机械器件时 , 表面效应占据了主导地位 。为此需要重 面 。右边可看作为泰勒级数的第一项 , 如果平均自由 新审视动量方程中的各类表面力项 。由于它们非常小 , ( )程相对来说足够小这种表达是充分合理的 。方程 2 所以边界条件也应 气体流动具有很大的 Knudsen 数 , 表明在分子平均速度在一个平均自由程范围内发生了 【1】 加以修正。极大变化时会产生极大的滑移 。在真空条件下和微器 1 边界条件的推导 件的流动中 , 情况就是如此 。这时 , 流体分子与固体壁 要求得流动问题的合适的数学表达需要对运动施 面间的碰撞频率低 , 以致建立近似平衡状态都比较困 加一定的边界条件和初值条件 。无粘流动方程中速度 难 。随着平均自由程的增加 , 流动进一步远离平衡态 , 的最高阶空间导数为一阶 , 只需要沿固体表面法向的 () 泰勒级数中就需要添加相应的附加项 非线性项。 对速度分量一个速度边界条件 。实际的流体当然是具有 实际的壁面 , 有些分子发生漫反射 , 有些分子 粘性的 , 相应的动量方程中就出现了速度的二阶导数 , 发生镜面反射 。换句话说 , 入射分子的部分动量失于 因此 , 需要另外一个速度边界条件 , 即沿固体表面切 σ壁面 , 部分被反射分子保留 。切向动量容许系数 定 v 向速度分量 。 义为发生漫反射的分子比例 。此系数取决于流体 、固 通常 , 在动量方程中施加流 - 固界面无滑移边界 体特性和表面粗糙度 。实验表明此值的范围为 012, 条件 , 在能量方程中施加无温度跳变条件 。但严格说 018 , 下限对应于极端光滑表面而上限适合于多数实际 来这两个边界条件只有在近壁处的流动流体处于热力 表面 。对等温壁 , Maxwell 推导出的最终表达式为 :学平衡时才能适用 。这就要求流体与固体表面有无限 σ- 2 v9 u ()3 = l | u- uw高的碰撞频率 。除此之外 , 碰撞频率不能高到使流体 gas wall σ9 y v处于平衡状态 , 因而允许一定的切向速度滑移和温度 σσ() 如 = 0 , 滑移速度无界 ; 而= 1 , 方程 3复 v v 跳变 。这是 MEMS 器件流动中经常遇到的问题 。下面 () 。 原为方程 2 　　我们推导出合适的关系 。 对温度跳变边界条件可作类似的论述 。在存在壁 对流体和气体 , 线性 Navier 边界条件经验地描述 面切向和法向温度梯度的条件下 , 对 理 想 气 体 流 动 , 【2】了壁面处的切向速度滑移与局部剪切力之间的关系: 完整的滑流和温度跳变边界条件为 : u 9 σ2 - v(γ ) 3 Pr - 1 l = L|( ) Δ 1 u | = u- uw s fluid wall w ( τ )u - u = + - q wgas wall x w 9 y σργ 4KT vgasπρ 2 KT / gas 式中 , L是定长滑移长度 , 9 u/ 9 y | 是壁面处的应变 s w σ2 - vμ 39 T 9