菱形压电微位移作动器的设计-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棿 暋 棻棸 暋 斨旓旍棶棽棿暋斘旓棶棻棸 暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椂 棻棸 暋 暋 暋 斚斻旚棶棽棸棻椂 文章编号 棬 棭增灢棸椀棽椃灢棸椄 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椂 菱形压电微位移作动器的设计 棻 棻 棽 棻 棳 棳 棳 黄卫清 刘雪瑞 王 寅 孙梦馨 暋