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- | 1993-08-26 颁布
- | 1994-07-01 实施
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中华人 民共和 国国家标准
GB/r 14603一93
电子工业用气体 三氟化硼
Gasesforelectronicindustry-Borontrifluoride
主题内容与适用范围
本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。
本标准适用于以氟硼酸钠为原料,采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路
生产的离子注入和掺杂。
分子式:BF3
相对分子质量:67.805(按 1989年国际相对原子质量)
2 弓!用标准
GB190危险货物包装标志
GB4844 氦气
GB4845 氦气检验方法
GB5274 气体分析 校准用混合气体的制备 称量法
GB5275气体分析 校准用混合气体的制备 渗透法
GB7144 气瓶颜色标记
GB11640 铝合金无缝气瓶
3 技术要求
三氟化硼的质量应符合下表的技术要求。
指 标
项 目
优等品 一等品 合格品
三氟化硼纯度,10-2 ) 99.995 99.95 99.6
空气含量,10-6 20 100 4000
二氧化硫含量,10 ‘ 10 10 20
四氟化硅含量,10- 20 300 300
硫酸盐含量,10 “ 8 8 10
注:①表中纯度和含量均为摩尔分数。
② 质量保证期一年
4 试验方法
4.1 三报化硼的纯度
国家技术监督局1993一08一26批准 1994一07一01实施
GB/T 14603一93
用摩尔分数表示,按式(1)计算。
z=100一 (X,+=3+T3+=4)x10-4 ·····················……(1)
式中:二— 三氟化硼纯度,1。一2;
s,— 空气含量,10-s;
x,— 二氧化硫含量,10-0;
X3- R氟化硅含量,10-0;
二—‘ 硫酸盐含量,10-`,
4.2 空气和二级化硫含f的测定
4.2.1 方法
采用热导色谱法测定。
4.2.2 仪器
气相色谱仪。要求仪器对空气(氧+氮)、二氧化硫的最小检测量均应比待测样品含量低约一个数量
级。色谱仪的其余各项技术指标应符合仪器使用说明书的要求。
4.2.3操作参考条件
a.检测器:热导池,冷阻约120。;
b.热导池温度:约80C;
:. 热导池桥路电流:约180mA;
d. 载气:氦气,应符合GB4844中纯氦一级品的规定;
e 载气流速:约30mL/min;
f.进样体积,1一3mL;
9.色谱柱温度:约900C;
h.色谱柱:长1m、内径2.5mm的聚四氟乙烯柱,柱内紧密装填0.2-0.15mm的porapakQ;
i.取样与进样管线均采用聚四氟乙烯管。
4.2.4 测定步骤
4.2-4.1 测定
将样品气经针形阀和连接管与仪器连接,在经充分置换并取得代表样之后,向色谱仪进样。记录各
被测组分的流出曲线,分别测量各组分的峰面积。重复进样二次,当其相对偏差不大于10%时,
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