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- | 1993-08-26 颁布
- | 1994-07-01 实施
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中华人民共和国国家标准
GB/T 14601一93
电子工业 用气体 高纯氨
Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia
1主题内容与适用范围
本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、
贮存及安全要求。
本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业,氮化硅的化学气相淀积,也可用于硅或氧
化硅的氮化。
分子式:NH,
相对分子质量:17.031(按 1989年国际相对原子质量)
2 弓!用标准
GB19。危险货物包装标志
GB5099钢质无缝气瓶
GB5831气体中微量氧的测定 比色法
GB6285气体中微量氧的测定 电化学法
GB7144气瓶颜色标志
GB7445 氢气
GB8980 高纯氮
GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法
GB10625高纯氢中微量氮的测定 电子迁移气相色谱法
GB14606气体中总烃的测定 火焰离子化检测法
3 技术要求
电子工业用气体高纯氨的质量应符合下表的技术要求。
项 目 指 标
氨的纯度,10-1 ) 99.999
氧含量,1。一‘ 2
氮含量.1。一“ 5
一氧化碳含量.1。~‘ 1
kz(CG^C,)含量,10-1 1
水含量,10-1 5
总杂质含量10-1 10
注:纯度及含量均以体积分数表示。
国家技术监普局1993一08一26批准 1994一07一01实施
GB/T 14601一93
4 检验方法
4-1 盆纯度的测定
按式((1)计算氨的纯度。
P=10。一 (仍+叽+PS+P4十9})x10- ············……(1)
式中:91-氨的纯度,10-3;
外— 氧含量,10-0;
9Pe 氮含量,10-`;
外— 一氧化碳含量,10-s,
9}4- 烃(CI-C3)含量,10-b;
叽— 水含量,10-`0
4.2 级含f的测定
4.2,, 按GB5831的规定进行测定。
4.2.2 按GB6285的规定进行测定。
注:4.2.1及4.2.2两种方法具有同等效力。
4.3氮含a的测定
按GB10625的规定进行测定。在测定之前,需要在检测器前串联一根长30cm、内径3mm的3A
分子筛(0.25-0.20mm)柱。
4.4 一叙化碳含f的测定
按GB8984的规定进行测定。色谱柱改用串联柱:长20cm、内径3mm的3A分子筛(0.25-0-20
mm)柱串联一根长30cm、内径3mm的活性炭(0.40^-0.25mm)柱。采用以氮为底气的标准混合气。
4.5烃(C,-C,)含f的测定
按GB14606的规定进行测定。色谱柱改用长30cm、内径3mm的3A分子筛(0.25^-0.20mm)
柱。采用以氮为底气的标准混合气。
4.6 水含f的测定
4.6.1 方法原理
氨气以恒定的流量通过碳化钙反应管,在这里水与碳化钙反应生成乙炔,随后进入带有氢焰离子化
检测器的气相色谱仪测定乙炔的浓度,并计算水的含量
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