第5章 压电式传感器..pptVIP

第5章 压电式传感器 5.3 压电式元件的结构形式 5．3．1 压电元件的基本变形 从压电常数矩阵可以看出，对能量转换有意义的石英晶体 变形方式有以下几种： 图5-9 压电元件的受力状态和变形方式 (a)厚度变形；(b)长度变形；(c)面剪切变形；(d)厚度剪切变形；(e)体积变形 5.3 压电式元件的结构形式 1．厚度变形(TE方式)，如图5-9(a)所示。这种变形方式就 是石英晶体的纵向压电效应，表面电荷密度或表面电荷为 (5-13) 2．长度变形(LE方式)，如图5-9(b)所示，这是利用石英 晶体的横向压电效应，表面电荷密度或电荷为 或 (5-14) 其中，Sx，Sy—分别为产生电荷面和受力面面积。 3．面剪切变形(FS方式)，如图5-9(c)所示，计算公式 (对X切晶片) 或 (对Y切晶片) (5-16)