基于LabVIEW的朗谬探针诊断系统的研制及应用-脉冲功率与等离子体专业论文.docxVIP

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不 包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做 出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到，本 声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即： 学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许 论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部 分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段 保存和汇编本学位论文。 保 密□ ，在 年解密后适用本授权书。 本论文属于  不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 1 绪论 1.1 低温等离子体概述 1.1.1 等离子体基本概念 等离子体是由处在非束缚态的带电粒子组成的多粒子体系，是除了固体、液体和气 体以外的一种基本的物质存在形态[1]。等离子体中包含带电粒子（包括正离子、负离子、 电子），也可能包含各种中性粒子（包括原子、分子、自由基和活性基团），在宏观上呈 电中性[2,3]。不仅宇宙中 99%以上的物质都以等离子体的状态存在，同时