17CCD、PSD传感器的结构、原理.docx

学习材料 资源学习完成 一、CCD传感器的结构、原理 CCD传感器1 CCD传感器2 CCD传感器3 ? 1、CCD的结构 CCD是由若干个电荷耦合单元组成的。其基本单元是MOS（金属-氧化物-半导体）电容器。它以P型（或N型）半导体为衬底，上面覆盖一层SiO2，再在SiO2表面依次沉积一层金属电极而构成 MOS 电容转移器件。这样一个MOS结构称为一个光敏元或一个像素，其结构如图8-47。在相应的MOS阵列加上电极和输出结构就构成了CCD器件，如图8-50所示。 图8-47 一个MOS结构的光敏元：1金属 2绝缘层sio2 图8-48 一个光敏元的电荷存储原理 2、电荷存储原理 构成CCD的