高真空用HVBHVL系列-CKD.PDF

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高真空用HVBHVL系列-CKD

HVB HVL EXA ・ FWD / 高真空用電磁閥 HNB G / USB G ■真空 惰性氣體 空氣 氮 ・ ・ ・ / FAB G / 概 要 FGB G 真空度愈高,在洩漏量之穩定性 FVB (真空度維持能力) 、密封材使用壽 / 命等方面就需要具備更高階的技 FWB G 術。 FHB HVB系列於閥座外型、密封材質及 表面處理等方面引進特殊技術,讓 FLB 產品即使在高真空環境下,仍能發 AB 揮穩定的性能,適用於電子束加工 機、分子加速器、

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