工模具钢表面CVD法强化技术应用分析.pdfVIP

江苏大学工程硕十论文 第一章绪论 第一章 绪 论 1．1 气相沉积技术介绍 工模具在工业生产中占有重要的地位，如何提高工模具的表面性能和使用寿 命一直是材料和工艺的研究重点之一。硬质膜是进行工模具表面强化、发挥材料 潜力的有效途径，气相沉积作为表面工程中的先进技术是实现上述目标的重要手 段。自20世纪60年代以来，利用气相沉积技术沉积各类具有特殊力学性能和功 能的薄膜材料，已广泛应用于半导体、光学、高熔点、高耐磨性材料方面的研究。 TiN薄膜具有高硬度、高粘着强度、高熔点、高耐磨性、抗腐蚀性以及低摩擦系数 等特点，现已广泛用于耐磨涂层，装饰涂层，金属切削和金属加工等方面。自六 十年代末第一代TiC化学气相沉积(CVD)涂层硬质合金刀片问世以来，涂层技术对 硬质合金刀具的发展起到了巨大的促进作用。八十年代初，TiN物理气相沉积(PVD) 涂层高速钢刀具的出现，被誉为高速钢刀具性能的革命性变革。 随着现代科学技术的发展和工业自动化的需要，对各种机械设备零件的表面 性能要求越来越高。如在众多的金属和非金属材料塑性加工工程中，工、模具的 工作条件恶劣，负荷很大，磨损主要发生在表面。科学研究和实践证