《湿刻工艺培训》课件.pptVIP

刻蚀培训; 硅PN结太阳电池基本结构 ;;主要内容;一：刻蚀的目的;第一步，硅被硝酸氧化 1，慢反应 Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O Si+2HNO3=SiO2+2NO+2H2O 2，快反应 2NO2+H2O=HNO2+HNO3 Si+4HNO2=SiO2+4NO+2H2O 4HNO3+NO+H2O=6HNO2 ;第二步：二氧化硅被氢氟酸溶解 SiO2+4HF=SiF4+2H2O SiF4+2HF=H2SiF6 总反应 SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O;三：RENA刻蚀机结构;RENA外观图;刻蚀槽的结构： ;2.碱槽/HF槽; 刻蚀槽储备槽里的溶液在 进入刻蚀槽前先要经过冷 却达到设定温度，冷却液 是由外围进来的city-water 进入制冷机冷却的。碱槽 温度是由外围提供的 cooling-water直接冷却的。;3.1合格品标准 a.刻蚀深度：0.8-1.2um b.边缘电阻：千欧级 c.外观无发黄，边缘发黑等 d.沾液良好、无明显爬液（3mm）;操作规范;刻蚀槽碎片、叠片处理;操作过程中的注意事项;RENA更换化学品注意事项：;生产过程中注意的事项;五：化学品安全与急救措施;2.硫酸(H2SO4 ) 含量: 工业级 92.5％或98％。 外观与性状：纯品为无色透明油状液体，无臭。 健康危害： 对皮肤、粘膜等组织有强烈的刺激和腐蚀作用。蒸气或雾可引起结膜炎、结膜水肿、角膜混浊，以致失明；引起呼吸道刺激，重者发生呼吸困难和肺水肿；高浓度引起喉痉挛或声门水肿而窒息死亡。口服后引起消化道烧伤以致溃疡形成；严重者可能有胃穿孔、腹膜炎、肾损害、休克等。皮肤灼伤轻者出现红斑、重者形成溃疡，愈后癍痕收缩影响功能。溅入眼内可造成灼伤，甚至角膜穿孔、全眼炎以至失明。慢性影响：牙齿酸蚀症、慢性支气管炎、肺气肿和肺硬化。? 环境危害： 对环境有危害，对水体和土壤可造成污染。;3.氢氟酸?（HF) 含量: 高浓度 55.0％; 低浓度 40％。无色透明有刺激性臭味的液体。商品为40%的水溶液。主要用作分析试剂、高纯氟化物的制备、玻璃蚀刻及电镀表面处理等。禁配物：强碱、活性金属粉末、玻璃制品。 危害性： 1.健康危害： 对皮肤有强烈的腐蚀作用。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。慢性影响：眼和上呼吸道刺激症状，或有鼻衄，嗅觉减退。可有牙齿酸蚀症。骨骼Ｘ线异常与工???性氟病少见。? 2.燃爆危险：本品不燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。 消防措施 ： 本品不燃，但能与大多数金属反应，生成氢气而引起爆炸。遇Ｈ发泡剂立即燃烧。腐蚀性极强。有害燃烧产物为氟化氢。灭火剂：雾状水、泡沫。 ;4. 氢氧化钠（NaOH） 含量: 工业品 一级≥99.5％; 二级≥99.0％。 外观与性状：白色不透明固体，易潮解。 危害性： 本品有强烈刺激和腐蚀性，不会燃烧，遇水和水蒸气大量放热，形成腐蚀性溶液；与酸发生中和反应并放热；粉尘或烟雾刺激眼和呼吸道，腐蚀鼻中隔；皮肤和眼直接接触可引起灼伤；误服可造成消化道灼伤，粘膜糜烂、出血和休克。 消防措施：远离易燃、可燃物；避免产生粉尘，避免与酸类接触；失火时，可用水、砂土和各种灭火器扑救，但灭火人员应注意水中溶入碱后的腐蚀性。 ;急救措施;谢 谢 !