12.<EC圆搜索> 从输入图像中找出与模型最相似的需要寻找的圆形标记、检出圆评价值(相似度)和位置。ECM搜索同样是使用着重轮廓信息的登录模型。此外,可以测量输入图像内的圆的个数。 统计处指定大小的圆有几个。根据「圆形」这一形状信息来抽取,所以变形的,内部有污点的,通过修改允许范围,也可稳定测量。 计数:5个 13.缺陷/高精度缺陷 检测无图案的测量物的缺陷,污点等。 通过测量区域内的颜色变化发现缺陷。 「缺陷」的测量区域是长方形/宽边直线/椭圆(圆)/圆环/宽边圆弧/多边形等可任意指定。可绘制的图形是每个单元最多8个。 一定宽度的直线 需要检测工件缺损或者毛刺时可以使用。 圆环/一定宽度的圆弧 需要检测圆形工件缺损或者毛刺时可以使用 长方形/椭圆(圆)/多边形 要检测T区低区域或者测量物整体的缺陷时使用。 毛刺 测量区域 毛刺 测量区域 缺陷 执行缺陷检测是「测量区域」和「缺陷检测尺寸」的设定。 13<高精度缺陷> 高精度检测出「缺陷」。通过修改检测出的元素尺寸或者比较间隔等,在速度和精度方面能够达到客户具体要求。 检测区域内、移动小区域 (=元素) 同时,求出该小区域的颜色(浓度)平均。 小区域的颜色平均 缺陷度求法 缺陷度= 比较间隔指定的个数 是求出色差 坐标 该小区域的大小 是元素尺寸 比较间隔 元素尺寸做成间隔 高精度缺陷设定画面 キズ 計測領域 欠陥度 高精度缺
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