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品质管理系列
无尘室行为规范
无尘室简介
无尘室污染源
无尘室外部环境管理规定
更衣室管理规定
目 无尘室管理规定
进入无尘室流程
录 出无尘室流程
无尘室着装标准
静电环点检流程
无尘室管控手段
无尘室清洁卫生规范
注意事项
无尘室简介
一、何为无尘室
无尘室(Clean Room)，也称为洁净室。是指将一定空间范围内之空气中的微
粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、
气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予
特别设计之房间。
无尘室简介
二、FS-209E 空气中悬浮粒子洁净度等级
等 级 限 值
NO. 等级名称 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um
容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位
国际单位 英制单位 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3
1 M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283 / /
2 M1.5 1 1240 35 265 7.5 106 3 35.3 1 / /
3 M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 / /
4 M2.5 10 12400 350 2650 75 1060 30 353 10 / /
5 M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 / /
6 M3.5 100 / / 26500 750 10600 300 3530 100 / /
7 M4 / / 75700 2140 30900 875 10000 283 / /
8 M4.
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