行业标准溅射靶材.doc

YS/T 287—×××× YS/T 287—×××× PAGE 4 PAGE 4 ICS 77.120.99 H 68 YS中华人民共和国工业和信息化部发布××××-××-××实施 YS 中华人民共和国工业和信息化部发布 ××××-××-××实施 ××××-××-××发布 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 Standard Practice for Ultrasonic C-Scan Bond Evaluation of Sputtering Target-Backing Plate Assemblies （送审稿） YS/T ×××—×××× 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T XXX—×××× YS/T ×××—×××× PAGE 4 PAGE I 前 言 本标准根据我国有色金属产品超声波检测方法实际情况进行的制定。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料股份有限公司，中国计量科学研究院，航天703所。 本标准主要起草人：刘红宾，尚再艳，何金江，朱晓光，王永辉，王欣平，熊晓东，吕保国，江轩，何双起，杨平 本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。 本标准是首次发布。 PAGE 6 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 范围 本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。 本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本标准。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本标准。 GB/T 5226.1 机械安全　机械电气设备　第1 部分: 通用技术条件 GB/T 9445 无损检测 人员资格鉴定与认证 GB/T 11259 无损检测 超声检测用钢参考试块的制作与检验方法 GB/T 12604.1 无损检测 术语 超声检测 GB/T 17421.1 机床检验通则　第一部分: 在无负荷或精加工条件下机床几何精度 GB/T 17421.2 机床检验通则　第二部分: 数控机床轴线定位精度和重复定位精度的确定 GB/T 18694 无损检测 超声检验 探头及其声场的表征 GB/T 18852 无损检测 超声检验 测量接触探头声束特性的参考试块和方法 GB/T 171626 加工中心检验条件　第6 部分: 进给量、速度和插补精 GJB 1580A 变形金属超声检验方法 GJB 9712A 无损检测人员资格鉴定与认证 JB/T 8428 无损检测 超声检测用试块 JB/T 8771.4 加工中心检验条件　第4 部分: 线性和回转轴线的定位精度和重复定位精度检验 JB/T 9269 工业控制计算机系统安装环境条件 术语和定义 GB/T 12604.1术语和定义适用于本标准。 超声波 ultrasonic wave 频率超过人耳可听范围的声波，此频率的下限一般取为20 kHz。 纵波 longitudinal wave 压缩波 compressional wave 在介质中传播时，介质质点的振动方向与波传播方向平行的声波波型。 探头 probe Search unit 电-声转换器件，通常由一个或多个用以发射或接收或既发射又接收超声波的换能器组成。 焦距 focal length 聚焦探头从焦点到声源的距离。 增益 gain 对元器件、电路、设备或系统，其电流、电压或功率增加的程度。通常以分贝(dB)数来规定。 闸门 gate 时间闸门 time gate 用电子学方法选择时基线的一段，以监视其中的信号或做进一步处理。 平底孔 flat bottom hole FBH 圆盘缺陷 disc flaw 圆盘形反射体 disc shaped reflector 平面的圆盘形反射体。 参考试块 reference block 对比试块 与受检件或材料化学成分相似，含有意义明确参考反射体的试块。用以调节超声检验设备的幅度和（或）时间分度，以将所检出的不连续信号与已知反射体所产生的信号相比较。 C扫描显示 C-scan display C-scan presentation 受检件的二维平面显示，按探头扫描位置，绘制幅度或声程在预置范围内的回波信号的存在。 一般要求 人员 从事溅射靶材-背板结合质